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진공/챔버 공정설비
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ESD 챔버(DFR Film Peeler)

본문

용도
가습 및 ESD 환경에서 노광이 끝난 글라스 마스크와 필름을 분리
제원
1 이온바 출력전압 10 KV
2 가습량 : 3.3kg/h
3 습도범위 : 40~90%
4 롤러 사이즈: Φ540 x 900mm 진원도 50um
5 챔버 사이즈 : 2400(W) x 3000(D) x 1800(H)
6 PLC 제어
구성
No 구성 수량
1 ESD 챔버 1
2 가습기, 습도계 1
3 이오나이저 1
4 분리 롤러 1
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