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진공/챔버 공정설비
진공/챔버 공정설비

Thermal Evaporator

본문
용도
회전하는 끈 형태의 섬유기판에 알루미늄 증착
제원
1 진동도 : Max 3x10^-6 Torr
2 재질 : SUS304
3 증착온도 : Max 800℃
4 각 방식 : 수냉
5 릴레이 제어 및 인터락 설정
6 -
구성
No 구성 수량
1 챔버 1
2 텅스텐 필라멘트 1
3 로터리 펌프, 터보 펌프 각 1
4 컨트롤 박스, 히터 컨트롤러 각 1
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