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진공/챔버 공정설비
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진공 리플로우

본문

용도
카메라 CCD 패키징을 위한 솔더링용 2챔버 진공 Reflow
제원
1 MFC,TM-MEMS 패키징용 8인치 진공 Wafer Bonder 설계로틀 밸브를 적용하여 포름산 , N2 량 정밀 제어
2 재질 : SUS304
3 온도 : Max 350℃
4 온도 유니폼 : 300℃ 유지시 ±6℃ 이내
5 제어 : PC 제어
6 진공도 : Max 5x10^-2 Torr
구성
No 구성 수량
1 진공 챔버 1
2 드라이 펌프 1
3 할로겐 램프 1
4 포름산 버블 및 공급기 1
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