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진공/챔버 공정설비
진공/챔버 공정설비

온도 균일화 과제

본문
용도
웨이퍼용 2챔버 진공 Reflow (200/300mm 웨이퍼용)
제원
1 진공도 : Max 5 X 10^-2 Torr
2 재질 : SUS304
3 온도 : MAX 350℃
4 온도 유니폼 : 300℃ 유지시 ±6℃ 이내
5 제어 : PLC 제어
6 -
구성
No 구성 수량
1 진공 챔버 1
2 WRT 1
3 드라이 펌프 1
4 할로겐 램프 1
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