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진공/챔버 본딩설비
진공/챔버 본딩설비

Chip to Chip Vacuum Bonder

본문

용도
칩과 칩을 진공 챔버 내에서 열과 압력으로 본딩
제원
1 본딩척 : size:8
2 본딩 압력 : Max 2 ton
3 본딩 온도 : Max 300℃
4 제어 : 마이컴 제어
5 진공도 : Max 5x10^-2 Torr
6 히팅 플레이트 평탄도 : 10㎛ 이내 / 냉각 방식 : 수냉
구성
No 구성 수량
1 얼라이너 1
2 칩 본더 1
3 얼라인 카메라 1
4 본딩용 레이저 1
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