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신제품
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8in /12in Wafer 육안 검사기

본문

용도
8in /12in Wafer 육안 검사기
제원
1 Water Size : 8’’, 12’’ mm 원형
2 Wafer 종류 : 8 inch Plat zone, Notch , 12 inch Notch
3 Cassette 종류 : 12’’ - FOUP, 8’’ - Cassette
4 전력 : 단상 220V ±10% 50/60 Hz ±0.2Hz (고객사 Utility 제공 기준)
5 공압 ; 5 Kgf/㎠(고객사 Utility 제공 기준)
6 Dimension : 1400 X 750 X 1850 ( mm )
구성
No 구성 수량
1 Wafer 육안검사기 본체 1EA
2 시스템 제어用 PC 1EA
3 CAM用 Controller 1EA
4
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